分子式:SiHCl3。
物化性:
经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应，生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，再经冷凝，得成品。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物。
密度1.342g/cm3,沸点31.8°C，熔点-126.6°C，闪点-27°C，爆炸极限1.2-90.5%，蒸汽压0.66bar(20°C)
无色有刺激腥臭味的液体。遇水分解，溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。易燃，在空气中能自燃。有毒！
产品用途：用作有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料
